高效轉子型線設計，真空度高；

· 泵腔內(nèi)無潤滑油，實現(xiàn)高潔凈真空；

· 螺距轉子加工精度高，實現(xiàn)低噪音、高壽命；

· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰塵、腐蝕性等多種氣體，不會滯留在泵腔內(nèi)，適用于惡劣的應用場合；

· 特殊軸承設計，振動極低，并且擁有的啟動可靠性，尤其適合苛刻的工藝制程；

· 密封方式，具有很強的密封性能及超長的使用壽命性；

· 特殊電機，提高運行可靠性，延長使用壽命并降低維護成本；

· 智能控制系統(tǒng)設計，使用智能編程可實現(xiàn)面板按鈕一鍵啟停 , 實現(xiàn)遠程控制和監(jiān)控功能；

· 結構設計緊湊，零部件少、易維護。

產(chǎn)品應用

冶金

真空釬焊、電子束焊接、氮碳共滲、低壓滲氮、低壓滲碳、化學氣相浸漬、燒結、金屬注射成型、精密熔模鑄造、電渣重熔、真空感應熔煉、真空電弧精煉、鋼液脫氣等。

鍍膜

卷繞鍍膜、硬質鍍膜 (CVD/DLC)、表面活化、等離子噴涂、玻璃鍍膜等。

干燥

冷凍干燥、套管填充、變壓器干燥、管道干燥、電容器干燥、鋰電池干燥等。

真空室排氣

氣體回收 / 循環(huán)、真空室抽空等。

等離子工藝

等離子焊接、離子滲碳、等離子蝕刻及清理、等離子清洗等。

太陽能光伏

單晶硅提拉、PV 層壓、LED 制造等。

其它

貼合機設備等。